2020年全球薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模達(dá)172億美元,預(yù)計到2025年市場規(guī)模將達(dá)340億美元
,復(fù)合年增長率近19%。高效能DRAM、AMOLED應(yīng)用以及光伏等新興應(yīng)用需求增加是半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場增長的核心驅(qū)動力。按鍍膜原理不同,薄膜沉積設(shè)備可分為物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、和原子層沉積(ALD)等;其中,CVD設(shè)備市場占比近57%,超半壁江山;PVD、ALD占約25%,ALD及其他鍍膜設(shè)備占18%。

數(shù)據(jù)來源《北方華創(chuàng)-公司深度報告:晶圓廠擴(kuò)張“賣水人”平臺化布局“刻蝕+沉積+清洗+熱處理”-20211113(105頁)》